二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9192012 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一个用于制造半导体器件的湿加工站。平台是后光刻工艺的综合设备，从表面清洁到干蚀刻。它具有广泛的工艺技术和高精度系统。TEL Expedius站由一个基本单元、一个单片盒式装载机和一个互连系统组成。基础单元是一个半自动平台，包含一系列的加工区域，从人工蚀刻和清洁区域到自动沉积、蚀刻、清洁和表面准备阶段。单片盒式装载机是主要的输入输出载波。它是一个真空晶片传输单元，可以安全地运输晶片，同时还提供快速晶片盖和受体盖，以保护晶片不被暴露在环境中。互连机允许晶片在工艺区域之间以及在TOKYO ELECTRON Expedius内的工艺模块之间转移。Expedius湿站设有湿蚀刻模块和等离子体蚀刻模块。湿蚀刻模块的开发是为了提供高蚀刻速率，同时保持关键蚀刻质量和均匀性。等离子体蚀刻模块可用于高长宽比蚀刻，如接触蚀刻。该站能够管理蚀刻气体输送和化学输送系统，从而确保一致的工艺结果和最小的环境影响。它还配备了自动化的蚀刻后清洁工具，在蚀刻过程后有效地清洁晶片表面。TEL/TOKYO ELECTRON Expedius站还包括精密机械计量通道和大气计量通道。机械计量通道是用于测量半导体器件表面各种结构尺寸和位置的高精度资产。大气计量通道用于监测和测量紧邻工作区域大气气体的特性。最后，可再生晶片传输模型简化了晶片在加工区域之间的转移，并允许在加工过程中保护晶片表面不受环境影响。设备自动检测晶片类型，在加工区域之间运输晶片，使工作站能够满足各种晶片尺寸的需求。总体而言,TEL Expedius是一个全面的湿式站系统,用于制造满足最苛刻客户要求的复杂半导体器件。它提供了广泛的工艺技术和准确的系统，同时也为其操作员保持了高水平的安全。