二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9209422 待售

TEL（TOKYO ELECTRON）TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是日本公司TEL/TOKYO ELECTRON製造的湿式半导体站，为硅基电路的製造提供一系列工艺。用于沉积、扩散和光刻，为半导体工业快速制造电子元件。TEL Expedius站是一个自动湿蚀和化学机械平面化化站，由多个腔室组成，包括蚀刻室、扩散炉、光刻轨道以及与中央控制器的接口。蚀刻室装有高压发电机，使基片选定区域的等压蚀刻成为可能。此外，该室采用两级气体输送系统、化学蚀刻剂喷雾和臭氧发生器，使工艺均匀高效。扩散炉能够在氮气气氛中进行高温处理直至1100⁰C，以便将磷、硼等掺杂剂沉积到晶圆的硅层中。此过程创建门结构以促进改进的电流流。光刻轨迹允许在具有高分辨率图像投影的晶片中发展图样。电子束用于在晶圆中生成干涉图样以创建所需的特征。光刻轨迹也可用于将晶片暴露于紫外光中，为电子元件通过电流创造波导。光刻轨迹与扫描电子显微镜、掩模写入器、电子显微镜激光光刻系统等多个外围系统相接。TOKYO ELECTRON Expedius station的设计旨在为半导体产业提供高通量的解决方桉。它高度自动化、经济高效,并允许制造商快速创建电子组件。综上所述，Expedius是一个系统集成的湿式站，由用于蚀刻、扩散和光刻的腔室组成。它能够进行等压蚀刻和扩散过程，以及以精确的分辨率在晶片上形成模式。该站自动化程度高，成本效益高，使制造商能够快速制造电子元件。