二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9211149 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一个湿式站，设计用于在半导体制造的所有阶段对基板进行精确加热和冷却。设备提供了高度的准确性和可靠性,使用户能够保持最高级别的过程控制和生产率。该系统采用可编程扫描、精密加热和冷却平台，以及闭环热控制装置，有效地保持了细腻基板的公差。机器的扫描元件可提供高达2000 °C的快速、精确的平面温度控制。扫描工具采用两步过程,首先将基板温度校准到精确的设定点,然后利用短周期的冷却和加热来确保对基板温度的精确控制。为了确保基板保持一致的温度，TEL Expedius合并了一个闭环热控制资产。该模型利用非接触式红外传感器测量基板温度，并自动校正到预定义的水平。该设备还提供温度反馈以实现实时调节。除了快速准确的温度控制，系统还提供了一个易于使用的界面。用户友好的软件允许快速、方便地操作设备，以及数据记录和机器控制。该软件还允许通过以太网进行远程维护和操作，这为任何使用TOKYO ELECTRON Expedius工具倍数的企业提供了便利。资产设计灵活，可针对各种生产需求进行定制。它可以通过工艺室、扫描仪、电源和冷却等子系统的配置，针对用户的特定需求量身定制。Expedius是在半导体制造的各个阶段对基板进行精确加热和冷却的强大而可靠的工具。它的可编程扫描、精确加热和冷却平台，以及闭环热控制模型确保基板保持在精确的温度范围内，从而确保对过程的精确控制，并最大限度地提高生产率。