二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9218526 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一个革命性的湿式站，设计用于微电子器件处理。它是集成了精确环境技术的最新机器人设备的终极范例，以支持多样化的加工能力，实现理想的产品产量。TEL Expedius由一个单一的加工室构成，它容纳了从烤箱到错误检测系统的各种组件。它配备了先进的机械臂系统，配有传感器，可以精确定位单个站点，使用户能够在很短的时间内准确定位站点。集成传感器还为用户提供实时诊断反馈。此外，TOKYO ELECTRON Expedius还包括一个先进的温度控制单元，其精确度为± 0.1°C，可用于快速加热/冷却。为了最大限度地提高产品可靠性，该机器采用了可快速调整的高级真空密封装置，以适应任何真空要求。此外，该站使用TEL Fab-in-a-Box VIII软件运行，该软件提供方便用户的图形界面和一整套用于过程控制的工具。该软件还配备了功能强大的数据收集机，为用户提供来自流程室的实时反馈，以更好地管理和记录数据。为了达到极致的安全性,Expedius采用自动安全工具进行设计,必要时可立即停止该过程。为了确保过程的可靠性，该站在投入实际生产之前，经过了最高质量保证水平的彻底测试。TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是市场上最先进的湿式站之一，也是高端微电子器件生产商的理想选择。其先进的自动化能力、卓越的温度控制资产和全面的工具套件为用户提供了最高级别的处理控制。这个革命性的站点是微电子器件行业企业的宝贵资产。