二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9219044 待售

TEL/TOKYOV ELECTRON TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一个能够快速准确的设备处理的湿站。湿式站是利用化学液体进行单晶片加工和清洗的工艺设备，具有对化学品的高精度输送和控制，工艺时间短，颗粒计数少的特点。TEL Expedius湿站由化学液体输送单元、控制单元、微调机构、气动机器人组成。化学输送单元包括一条化学散装输送管道，其中化学品从化学罐运至加工罐，一条化学输送管将化学物质从加工罐运至加工对象，以及一个控制化学品输送的控制阀。控制单元负责控制和监控化学品输送，允许操作员设置参数和调整系统设置。旋转器机构在表面加工过程中保持晶片，使晶片和化学品之间能够精确接触。气动机器人的任务是将晶片从旋转器中取出并放在倾斜的桌子上。TOKYO ELECTRON Expedius湿站是为生产现代半导体器件而设计的。该站经过测试和认证，具有很高的可靠性和效率，组件设计为提供长期运行，维护最少。湿站还配备了实时反馈单元和工艺报告打印机等各种功能，使操作员能够监控刀具性能。此外，该站还包括气体探测器和温湿度控制等各种安全功能。为了确保最大性能,Expedius配备了多种工具和传感器。该站配备大型超大型鼓风机机组和化学喷射器，确保化学液体的精确输送，并确保提前设定化学输送资产参数的精确控制。该站还配备了多种传感器，对温度、压力、湿度、颗粒浓度、液位等各种环境方面进行检测监测，以保持工艺质量高。此外，该站还配备了先进的数据记录和分析软件，使操作员能够分析和监测操作日志，以便及时查明和纠正操作问题。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Expedius湿站是一种先进可靠的模型，能够对半导体器件部件进行精确的处理和清洗。设备精密、高效、可靠，先进的特点保证了它为广泛的生产需求提供高品质的产品。