二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #9253879 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+是一个具有先进功能的湿式站，旨在优化半导体组装过程中的器件处理。湿式工作站的设计为设备处理提供了最佳条件。这是通过向等离子体室输送干式和湿式气体的双室大气气体输送设备完成的。干气系统具有控制流量的质量流量控制器（MFC）和测量腔室内部实际压力的数字压力传感器（DPT）。它还具有一个气体监测仪，该监测仪测量整个腔室的气体成分，并补偿干燥气体中的颗粒污染。在湿气单元中，用MFC控制流量，用DPT测量腔室压力。湿度监测仪用于测量室内的湿度，这有助于确保最佳的湿处理条件。湿法站还对湿法膜的沉积进行了校准，并对沉积速率进行了微调。湿站还利用了广泛的温度范围。它可以在低至-50°C、高至250°C的温度下运作。这种广泛的范围允许更精确的微调沉积速率，以及更多的设备处理可能性。这个范围也保证了人员和设备的安全。湿式排气站还配备了自动排气机，能够安全高效地疏散废旧化合物。该工具具有电动快门和可以无与伦比的速度打开和关闭的快速通风装置。最后，湿式站配备了先进的工艺算法。该算法旨在确保湿参数和干参数的最佳集成，为设备加工提供可靠的控制。总体而言,TEL Expedius+是一个具有先进功能的湿式工作站,可优化半导体装配过程中的设备处理。具有广泛的工作温度、自动排气资产和先进的工艺算法，这种湿式工作站为设备处理提供了可靠的控制。