二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9310953 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius（通常简称为'TEL）是设计用于半导体生产环境的湿式站系统的领先品牌。TOKYO ELECTRON湿站为客户提供最先进的微电子工业需求解决方桉,提供广泛的功能、功能和服务。TEL Expedius湿站设计用于支持中小型晶片的加工。各站配备了一整套加工工具，包括但不限于，一个再循环浴、特种化学罐、多位真空基工艺室、去离子水系统、遥控晶圆处理系统。加工罐和腔室高度密封，设计用于在加工晶片的同时保持恒定的工艺压力。安全也是一个优先事项，安装了自动装置以防止晶圆暴露在宽广的温度范围或污染物中。湿式站点系统可以轻松地与客户现有的工具和系统集成,而基于调制解调器的以太网集成允许客户的工厂计算机和站点之间直接访问,从而实现远程监控和维护。该站还提供可选的分析工具，包括用于粒子分析的光发射成像（OEMI），以及用于晶圆测试的专门基于气体和空气的方法。TEL/TOKYO ELECTRON客户服务组提供一系列服务，旨在让即将成为TOKYO ELECTRON Expedius用户的体验尽可能无压力。这包括全面的安装和部署支持,以及全面的实时系统监控和维护。客户服务保障还延伸到长期的技术支持和维修，以及对偶尔出现的技术问题的帮助。总而言之,Expedius湿站的设计目标是为客户提供最先进的半导体器件湿处理。无论是对低成本处理、高速吞吐量或极其精确的过程的需求,TEL/TOKYO ELECTRON Expedius都在一个集成平台中提供了完整的解决方桉。