二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9351446 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius是一个湿加工站，设计用于半导体制造和工业应用。这个湿工艺站非常适合产生高质量的光刻结果，包括紫外线（UV）暴露、化学沉积、湿蚀刻和其他液基工艺。该站设有集成控制的全自动设备、自我诊断故障检测、一步化学供应系统等先进自动化技术。TEL Expedius由一个具有快速反应液体加工功能的水基加工室、一个用于该室加工的淋浴头输送单元和一个先进的自动清洁机组成。此操作工具使工作站能够执行各种各样的过程,从而实现更快的生产速度和更好的零件质量。安装在TOKYO ELECTRON Expedius的集成控件具有先进的基于计算机的协议，可直观地操作和管理工作站内的所有进程。此程序在每个步骤中指导操作员,从设置到操作。它包括对高级自动化的访问,以及每个步骤的预设值,这意味着可以将设置存储在资产中,并根据特定目的的需要进行快速调整。这个湿式车站提供高性能，成本相对较低。其优越的温度控制使得它适合多种基板，其高速使车站能够在较短的时间内完成较长的过程。本站设有顶装式盒式装载机和有专利分散机构的源处化学喷射器。卡带装载机最多可容纳8个活动卡带，并提供快速装卸，而源化学喷射器可以精确控制每种基材所需的化学量。Expedius适用于多种技术，包括光刻、湿蚀刻、CMP和微制造。它还提供了一个可选的光致抗蚀剂条带循环,集成检测和去除光致抗蚀剂及其他后处理步骤,从而实现更快的周期时间和更大的产量。该站还具有气泡检测模型，用于识别和从液体供应中喷出气泡，确保一致和高质量的结果。这种湿式工作站是为过程的一致性、精度和可重复性而设计的。TEL/TOKYO ELECTRON Expedius适合许多行业，从消费电子到医疗设备和航空航天部件。其强大的框架、先进的功能和自动化的技术使其成为维护高效生产工作流程和质量控制的可靠工具。