二手 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #9375199 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+是一个湿式工作站，设计用于使薄膜沉积在纳米级和微米级的各种基板上。该湿站适用于气相沉积、电化学沉积、电沉积、化学镀层、阳极氧化等应用。该站的主要组成部分是湿沉积段，由一个大尺寸的加工室和一个湿处理模块组成。沉积室设有加热元件、传感器、排气口和两个圆形石英缸。该工艺室具有真空、正压和大气操作能力。它的大圆柱尺寸允许不同的基材尺寸和形状进行处理。与沉积室相邻的湿处理模块包括一个大直径反应容器、一个内置冷却系统以及几个供气和废气输入口。该反应容器的设计可容纳各种沉积技术的各种浴液成分。反应容器的温度可以调整以适应所需的工艺过程。内置冷却系统旨在防止沉积物堆积在晶圆表面。沉积室和湿处理模块通过内置静电屏蔽的多层静电场连接。这确保了整个沉积过程中的工艺环境、沉积溶液和基板保持隔离，不受污染。一个专用的控制面板，位于车站的后方，使用户可以轻松调整温度、压力和其他过程变量等参数。TEL Expedius+站能够沉积质量和均匀性极好的极薄膜。这使得它成为先进光刻和纳米技术等应用的理想选择。此外,它的专门设计和自动监视和控制反应的能力使它能够以最少的参与来排列多个作业。它是满足许多沉积需求的经济高效的解决方桉。