二手 TEL / TOKYO ELECTRON UW-200Z #9278993 待售

ID: 9278993
晶圆大小: 8"
优质的: 2005
Batch wafer processor, 8" Dry-in / Dry-out Install type: Thru-The-Wall (TTW) Automated load / Unload Bath: 1: Citric 2: POU (Point Of Use, configurable) 3: SD2 (HF / IPA Dry) Typical process flow: Citric -> POU (QDR) ->SD2 Includes: Fire suppression system UPS For computer only (installed on tool) UPS For full system (stand-alone unit) 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-200Z是一个受半导体厂商欢迎的湿式站,由于自动化程度高。作为湿式站,它被设计用于化学蚀刻工艺,这是一种用于从半导体晶片中去除材料的工艺。TEL UW200Z是一个全尺寸湿式站,设计用于在一个过程中容纳多个晶片。其独特的设计特点是在一个移动的平台上有一个固定的大型机,让湿站在站间快速移动,一次处理多个晶片。这允许更高程度的自动化,减少了化学蚀刻过程所需的人工干预量。TOKYO ELECTRON UW 200 Z有一个以应用程式为基础的介面,可配置为站间自动移动。应用程序还可以加载配方,用于确定化学蚀刻程序所需的确切工艺参数。该站可由单一使用者操作,任何时候最多可提供四个处理罐。湿站采用最新的安全技术,包括报警设备、旋转锁和集结系统。集合单元允许用户在电台即将到达终点时得到可听的通知。此外,该站设有通风机,以防止化学蒸气消散。UW 200 Z是可靠的湿式车站,处理速度令人印象深刻。它可以在一个批次内处理多达四个晶片,并且可以设置为连续重复批次进行连续生产。该站由AC100V 220V电源供电,设计用于清洁房间环境。总体而言,TEL UW 200 Z是一个可靠的湿式站,非常适合多个晶片的自动化学蚀刻。其先进的功能,包括自动移动、App控制界面和安全功能,使其成为制造半导体产品的绝佳选择。
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