二手 TEL / TOKYO ELECTRON UW-200Z #9278994 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UW-200Z Wet Station是为集成电路装置的自动化制造而设计的顶级湿化学处理设备。TEL UW200Z采用工业级结构，以最佳的精度和一致的可靠性而设计。TOKYO ELECTRON UW 200 Z具有两个用于材料供应设备（MSS）的工艺储罐和两个最高温度可达370°C的标准储罐尺寸。这两个流程库都具有自动流程控制功能,可用于自动流程运行和监控。该站的冷却系统由两块冷却板组成，可针对两个不同的温度要求分别控制。每个罐子都装有一个工具料斗，允许插入基板和清洁工具。MSS工艺储罐使用一系列的泵和排水和填充装置，使用DI或 DI&DI水填充和排出储罐。这两个储罐还设有气泡板清洁机，以取代排气，尽量减少气泡，并改善基板清洁。TOKYO ELECTRON UW200Z提供了多种工艺模块来支持集成电路设备的自动化制造。这些模块包括厚膜条挤出机、多孔层压和隔离挤出机（PI），以及沸腾抑制剂应用（BIA）。厚膜条挤出机用于生产厚度均匀、耐湿性优良的厚膜电阻条。多孔层压和隔离挤出器（PI）可确保精确定位,并与均匀无空隙层压和电隔离所需的基板进行正确的保形接触。BIA与PI模块集成在一起，提供平滑的共晶键。此外，该站还包括一个基板运输工具，用于通过三个工艺罐运输基板。该站还设有智能基板管理资产（SSMS），用于识别基板并在三个工艺罐中进行最佳运输。TEL UW 200 Z Wet Station是寻求在湿法化学加工中的顶级精度和可靠性的理想选择。TEL UW-200Z具有全面的模块和自动化过程,提供无与伦比的多功能性,为集成电路设备的制造提供了无与伦比的速度和准确性。