二手 TEL / TOKYO ELECTRON UW-300 #9098652 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UW-300是半导体工业中用于工艺开发和器件制造的湿站。该湿站设计用于浅沟隔离和浅沟蚀刻等低压过程。它还能够生产用于3DIC和MEMS等技术的复杂结构。TEL UW-300具有独特的高温低压工艺室设备,该设备由石英和不锈钢制成,建在刚性框架上,有助于最大限度地减少整个腔室的温度变化并确保均匀性。其先进的等离子体系统旨在产生高效的低压处理环境，使其成为蚀刻工艺的理想选择。TOKYO ELECTRON UW-300还具有许多过程控制和安全功能。其中包括一个自动过程控制器，用于监控和调节温度、压力和其他过程参数，以及一个专利的放电抑制装置，有助于维护过程的完整性和安全性。UW-300具有许多功能,使其成为流程应用程序的通用选择。它最多可容纳四个工艺室，每个室都有一个不同的工艺室气体输送单元和一个内置的气体歧管和真空泵，允许它一次处理各种工艺气体。它的可编程计算机控制器能够处理多达八种不同的晶圆配方和参数，从而能够快速、方便地设置复杂的过程和条件。此外,TEL/TOKYO ELECTRON UW-300的设计采用了直观的用户界面,使用户能够查看当前流程信息并根据需要进行调整。这个潮湿的车站也被设计成易于维护和清洁。它具有自动化的晶片装载机/卸载机，减少了手动装卸晶片的需要，并拥有集成的晶片转移机器人机器，因此清理过程残留物可以快速、容易地发生。此外，TEL UW-300有一个内置的耐化学喷雾喷嘴，用于有效清洁加工室和石英管。总体而言，TOKYO ELECTRON UW-300是一个先进的湿式站，旨在为工艺开发和设备制造提供统一的工艺和安全特性。它的多功能性和便利性使其成为半导体行业的绝佳选择。