二手 TEL / TOKYO ELECTRON UW-300Z #293821721 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Z是专为晶圆处理而设计的全自动湿式台站。它是一个高精度、高生产率和全自动湿蚀刻解决方桉站,效率最高。它能够以无与伦比的速度和精度处理直径达300毫米的晶片。这一湿站用于蚀刻硅、砷化的、硅的、氮化铝的、蓝宝石等多种材料。TEL UW300Z采用模块化设计,允许在没有人为干预的情况下加载/卸载、存储和传输晶片,从而最大限度地减少潜在的污染或损坏。它还提供了一个开放的体系结构，促进了与现有生产系统的少量集成。该设备设计为在处理前存储晶片，允许更多的吞吐量和自动化。直观的控制面板提供操作信息、自我诊断系统和实时流程监控功能。此外，该机组还配有防止污染或损坏的防护罩、用于颗粒和化学缓减的过滤系统以及多种安全联锁装置，以确保机器和晶片的完整性。TOKYO ELECTRON UW 300Z还提供高精度、提高生产力、改进集成和灵活性。它旨在与各种TEL蚀刻计划和其他商业食谱兼容。它具有开放式体系结构软件模块和实时流程监视器,允许用户轻松自定义自己的流程以满足其特定要求。该站还配备了精密温度和时间控制、高精度晶片对准以及晶片检测工具内置光源。此外，TEL/TOKYO ELECTRON UW300Z可以支持多种工艺构型，从物理/化学湿蚀刻，到电镀和成型。总体而言，TOKYO ELECTRON UW 300 Z的设计提供了无与伦比的精确度和生产力。它非常适合中小型半导体生产需要提高生产率、灵活性和精确度的晶圆加工要求。该资产还能够提供高水平集成的优质蚀刻，加上行业标准的安全措施。