二手 TEL / TOKYO ELECTRON UW-300Z #9211144 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Z是一个先进的湿法加工站,专门设计用于以紧凑和经济高效的方式进行高精度湿法蚀刻和沉积工艺。湿站可用于各种应用,如半导体器件制造的蚀刻和沉积工艺,或用于更一般的湿工艺,如清洁和沉积薄膜。TEL UW300Z具有多种湿化学功能,包括高精度湿蚀刻、电化学沉积和自旋涂层。该站还采用了超低调的设计,使其能够与多种其他设备相结合。这允许更大的流程灵活性和与其他流程的高效集成。TOKYO ELECTRON UW 300Z具有全面的控制参数范围,如温度、压力、液体流量等,使用户可以精确控制蚀刻沉积过程。该站还包括5轴操纵器、样品级和有助于保持一致、可重复结果的闭环化学分配系统。该工作站提供了一个用户友好的界面,有一个独特的图形显示清楚地显示进程的状态。这允许更快的进程设置时间,而板载专家系统可帮助用户排除运行进程时遇到的任何问题。TOKYO ELECTRON UW-300Z是一个功能强大的干法站,为用户提供广泛的功能和好处。它易于使用的用户界面,加上广泛的过程控制功能,使其成为各行业中蚀刻和沉积过程的理想工具。
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