二手 TEL / TOKYO ELECTRON UW-300Z #9282761 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Z是设计用于晶圆制造过程的湿式站。该装置主要用作高精度蚀刻站，能够处理多达8英寸的晶片。TEL UW300Z具有涡轮分子泵,能够实现8x10-3 Pa的真空。这种真空能力对于蚀刻过程至关重要,因为它允许对小于1 µm的特性进行非常精确的蚀刻。TOKYO ELECTRON UW 300Z还具有12轴控制功能，即使是最复杂的8英寸晶圆设计也可以处理。它还配备了用于退火和钝化等后蚀刻加工的热板。TOKYO ELECTRON UW300Z在20°C-200°C的温度范围内运行,在所有晶圆位置产生均匀的温度,非常适合实现可重复、精确的蚀刻结果。该站还包括一个排烟机和一个化学引擎盖，两者都有助于保持清洁安全的工作环境。该单元还配备了提供系统性能实时数据的诊断系统。其中包括总蚀刻时间、气体压力、热力图等信息。这有助于确保准确性和精确度,并减少任何潜在的故障排除时间。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON UW 300Z是针对8英寸晶片加工优化的高性能湿式站。它兼具真空性能、12轴控制、温度范围和诊断系统等特点，是任何芯片制造工艺的理想选择。该装置确保了精度、可重复性和安全性，使其成为现代晶圆制造的宝贵工具。