二手 TEL / TOKYO ELECTRON UW-300Z #9392079 待售

ID: 9392079
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Wet station, 12", parts machine PC Bath SRM Tank Temperature controller Heater Exhaust unit 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Z是一个为半导体制造工艺而设计的多功能一体湿式站。这个多功能站包括高压喷雾器、湿加工浴、液体废弃物储罐、转移机器人、蒸汽干燥机、紫外线固化灯。高压喷雾器对于晶片和其他部件在加工和完成操作之前的清洗和清洁至关重要。这个湿式工作站的高压范围为70至85巴,喷嘴直径为0.8mm,非常适合精密清洁细腻部件,不会造成损坏。它还包括一个强而温和的喷雾,允许有效的清洗与最小的飞溅或过度喷雾。湿加工浴设计用于各种工艺,如蚀刻、清洁、电镀、刻度加工等。这种多功能浴池为用户提供了范围广泛的温度,范围从0摄氏度到120摄氏度。它还包括搅拌设备,以确保在工艺步骤中均匀分配材料。此外,该浴池还具有可选的排水功能,可以在清洗时快速、高效地排水浴池。该机器人是为高效高效的物料运输而设计的,具有基于自动制导车辆的系统和用户可编程设置。机器人为操作员提供了多种操作选项,如起始点设置、内存多路径操作以及位置和数据恢复。此外,此自动机还具有一个命令验证单元,用于检查所有命令并防止任何无意的过程。蒸汽干燥机是该站的另一个组成部分,它便于样品完全干燥,干燥时间长达8分钟。该烘干机具有有效的间接滚筒烘干机,为用户提供高效、一致的烘干工艺。选装的UV固化灯也包含在站内,为用户提供耐热饰面,缩短整体工艺时间。总之,TEL UW300Z是为半导体制造工艺设计的一种多功能湿式站.该站包括各种部件,如高压喷雾器、湿加工浴、转运机器人、蒸汽干燥机和紫外线固化灯,允许用户完成所有工序而无需额外的、单独的设备。高效、完整的干燥工艺使这一湿站成为半导体制造应用的理想选择。
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