二手 TEL / TOKYO ELECTRON UW-8000 #9185010 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UW-8000是一种用于半导体器件制造的湿式站溶液。它是为广泛的应用而设计的，从各种尺寸的基材到一套多样的材料，包括硅、砷化氙、硅的、电阻上的硅和基于氮化铵的HEMT。TEL UW-8000使复杂的湿蚀刻工艺能够以可靠和安全的方式完成,并具有与严格的行业规范相匹配的精确度和可重复性。TOKYO ELECTRON UW 8000提供多达16个工艺室，具有集成的清洁设备和高速搅拌过滤功能。该系统能够精确地完成多达8种配方，以优化和控制任何工艺要求。TOKYO ELECTRON UW-8000采用单晶或双晶石英技术进行最高质量的材料控制，能够蚀刻到5纳米以内。集成的ECR（e-gun）提供低温蚀刻，有助于减少残留金属膜的形成。TEL/TOKYO ELECTRON UW 8000包括一个获得专利的气体动态和介电磁控管装置，能够最大限度地减少气体使用，提供精确的气体控制，同时获得内部和外部气体供应，并降低能源成本。UW-8000的自动化负载和卸载功能提高了四英寸基板的处理时间。这台机器采用动态个人计算机（PC）界面来控制过程的各个方面。除了特性外，TEL UW 8000的设计在所有条件下都能达到高度的安全性和稳定性。UW 8000符合所有国际安全标准，经过振动测试以保护其准确性和精确度。TEL/TOKYO ELECTRON UW-8000还提供了大量用于无故障维护的功能,包括自我诊断和监控功能,以及提供实时性能数据的远程监控工具。简而言之,TEL UW-8000湿式站提供了一个高度可靠和高效的解决方桉,可满足广泛的应用需求,提供精密蚀刻,且气体使用量最低,并提供安全的远程监控连接。TOKYO ELECTRON UW 8000以其动态特性和安全协议，是半导体行业的理想选择。