二手 TEL / TOKYO ELECTRON UW-8000 #9223611 待售
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ID: 9223611
优质的: 2008
Wet station, 8"
Application: Batch wafer processing
Tool configuration:
LOAD / ACB
CTC
CHCL
SPM
HQDR
BOE
QDR
SC1
HQDR
POOL
IPA DRYER
CBS:
SPM
HF
No UPS
Power box
No Hot DI unit
No fire extinguisher
In-line heater
No concentration monitor
Mega sonic
Bellow pump
Heat exchanger
No external unit
L/D Power box
U/LD Power box
Loader body
SPM Body
SCI Body
Pool body
Unloader body
(4) Back Conveyors
Main power box
Battery box
Power box
IPA Dryer
PIO Board box
Main power: 208 VAC, 3-Ph
UPS: 208 VAC, 3-Ph
2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-8000是专门为批量和单片加工应用而设计的湿式站。这一设备专门设计用于像蚀刻、更薄的沉积、溶剂清洗、化学机械抛光（CMP）、湿法化学处理等湿法化学加工。TEL UW-8000是一个灵活的系统，既可以处理单个晶片，也可以处理多达200个晶片的批处理。它配有两个工艺模块，每个模块由四个单独的工艺单元组成，所有这些单元都是隔离的。因此,该设备能够处理单个晶片和批处理,而无需额外的附件。处理单元具有滑动打开的闸门,可方便地访问和加载/卸载单个晶片。使用易于操作的触摸屏显示屏,可以轻松设置和控制流程配方。它还带有直观的配方编辑器/管理机器,以确保正确设置和记录所有参数。内置警报管理工具有助于确保晶圆质量通过在操作过程中需要操作员注意的环境进行维护。腔室的设计也保证了每次均匀的晶片工艺，同时提供优越的温度和湿度控制。腔室设有多区排气资产，用于控制腔室的温度和湿度。它还采用保形流动技术，在保持统一环境的同时实现精确流动。为了保持均匀性，TOKYO ELECTRON UW 8000型号还配备了现场污染监测仪，可实时测量空气中微粒污染的数量。TEL UW 8000设备是一个独特的、精心设计的系统，每次都能提供一致的高质量结果。拥有多个流程单元、简单的自动化单元、报警管理机器；该工具可在任何环境中实现准确和可重复的湿化学处理。
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