二手 UNIVERSAL Wet bench cleaning system #293587907 待售
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ID: 293587907
Type: Silicon Genesis SiGen 4
Ventilated chemical storage cabinets
Teflon chemical delivery cart
Spill capture tray
Associated components
Tanks:
SC1
SC2
HF
Mega-sonic cleans.
UNIVERS-Wet Bench cleaning equipment is a pressive and vensility wet station designed for cleaning and processing substates in semiconductor manufacturing and research这一尖端系统将精密清洁能力与先进技术相结合,满足了半导体行业严格的清洁要求。湿式台式清洁单元由一系列集成到单个平台中的模块组成,每个模块在基板清洁过程中服务于特定的功能。这些模块包括化学品分配单元、冲洗室、干燥站和废物管理系统。机器是高度可配置的,允许定制以满足特定的清洁需求和过程。通用湿式台式清洁工具的一个关键特点是其先进的化学分配能力。资产配备了精密剂量泵和自动溷合系统,能够精确分配清洁化学溶液。这确保了一致和受控的清洁过程,最大限度地降低了可变性和错误的风险。湿式台式清洗模型中的冲洗室设计为在清洗过程中对基板进行高效彻底的冲洗。这些腔室配有多个喷嘴和水再循环系统,以确保最佳的冲洗性能。该设备还包括热式DI水冲洗和超声波清洗选项,以实现更高的清洁水平。除了清洁和冲洗功能外,湿式工作台系统还设有干燥站,以便在清洗后彻底干燥基材。这些干燥站结合了自旋干燥、N2喷流和热板技术,以确保快速和有效的干燥,而不会在基材上留下任何残留物。废物管理是通用湿式台式清洁装置的另一个关键方面.该机器配有综合废物收集和处理系统,以确保有效处理和处置清洁过程中产生的化学废物。采用先进的过滤系统,以尽量减少对环境的影响,并遵守监管要求。湿式台式清洁工具采用用户友好的界面和先进的控制系统,以简化操作和监控。该资产具有触摸屏显示、配方管理功能和实时监控功能,可促进高效可靠的清洁过程。此外,湿式台阶模型采用坚固的材料和部件,以确保在要求苛刻的半导体制造环境中的耐用性和长期可靠性。该设备的设计符合行业清洁和安全标准,具有化学泄漏控制系统和烟雾提取能力等特点。总之,UNIVERS-Wet台式清洗系统是半导体基板清洗加工的一种最先进的解决方桉。湿式台式设备具有先进的技术、可定制的配置和全面的清洁功能,为高精度半导体制造应用提供了无与伦比的性能和效率。
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