二手 WAFAB Wet bench #293671279 待售

WAFAB Wet bench
製造商
WAFAB
模型
Wet bench
ID: 293671279
Ni plating bench.
WAFAB湿式工作台是一种设计用于电子工业的湿式工作台。湿式工作台是一个装有在洁净室环境中处理基片所需设备的工作台。WAFAB湿式工作台通常由化学柜、排气堆、水槽站和其他设备组成。化学柜为储存和获取用于半导体基材蚀刻的化学品提供了一个位置。它由一个用于安装架子的框架、一个内置的轻型、可调脚、一个气瓶杆和用于安全的锁组成。货架可以支撑化学容器,气瓶条将气瓶固定到位。排气烟囱是一种三向排气系统,确保危险烟雾或汽化物质的安全排出和清除。堆栈包括一个接收空气的主管和一个通过过滤器移动的鼓风机,以及两个装有吸入新鲜空气的风扇和用于清洁过滤器的声波清洁器的较小管道。水槽站由一个工作区、一个冲洗前水槽和一个主排水沟组成。水槽站的工作区域包括一个有斜坡方便排干受污染介质的水槽、一个拖把排水台、一个水龙头和一个供冷热水的空气控制阀。冲洗前的水槽有一个水龙头、一个阀门和一个安全关闭开关。主排水管与水槽相连,包含一个可以打开和关闭的锁塞,还配有一个空气通道,以确保危险的大气和蒸气被巧妙地排出。Wet板凳典型的其他设备包括真空过滤器、手套箱、真空端口和气瓶阀。真空过滤器通过去除微粒来保持空气清洁。手套箱为将零件从洁净室转移到PVC管道或操纵样品基板提供了受控环境。真空端口为基片晶片提供真空室,气瓶阀控制气体流入系统。综上所述,WAFAB湿式站是在洁净室环境下,为半导体基板蚀刻工艺设计的站。它包括储存和获取蚀刻化学品的化学柜;用于安全清除危险烟雾或汽化物质的排气烟囱;设有工作区的水槽站;以及各种其他设备,包括真空过滤器、手套箱、真空端口和气瓶阀。
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