二手 ADE / KLA / TENCOR NanoMapper #9203138 待售

ADE / KLA / TENCOR NanoMapper
ID: 9203138
晶圆大小: 12"
X-Ray spectrometer, 12".
ADE/KLA/TENCOR NanoMapper是一种X射线设备,设计用于提供纳米尺度分析的高分辨率成像。该系统非常适合为小特征提供高分辨率成像,用于检测和分析纳米级特征。该装置采用先进的数字X射线探测器,对200-1000 keV范围内的高能X射线光子敏感。ADE NanoMapper的设计目的是在从亚微米粒子到多层半导体晶片的各种样本量上提供具有亚微米分辨率的成像能力。该机配备了能够在30kV运行的高速X射线源,以及用于捕捉高分辨率图像的高精度CCD相机。X射线源能够产生均匀的X射线通量,并能精确控制光束光斑大小,提供良好的成像对比度。KLA NanoMapper还能够将高速CCD相机与获得专利的X射线光束扫描技术相结合,以高分辨率成像大型样品。这项技术可以捕获分辨率高达0.5µm的大型样品的图像,并提供空间频率和离线成像。该工具非常适合对各种样本量的纳米尺度特征进行静态和动态成像。该资产能够高速获取全场图像以及分辨率不同的多场图像。TENCOR NanoMapper还配备了自动对准模型,以提高样品尺寸的准确性。这种自动化设备可以产生更高精度的重复结果,而不是手动取样。NanoMapper是一种多功能X射线系统,能够为各种纳米级功能提供高分辨率成像功能。该单元配备了先进的X射线探测器、高速X射线源、高精度CCD摄像机和专利光束扫描技术,以提供准确、可重复的结果。该机是提供纳米级特性高分辨率成像的理想工具,是研究和工业应用的宝贵工具。
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