二手 RIGAKU MFM310 #9251835 待售
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ID: 9251835
晶圆大小: 12"
X-Ray Reflectivity (XRR), 12"
XRR X-Ray generator
Automatic wafer handling robot system, 8"-12"
With wafer handling capability and wafer pre-aligner
(2) FOUP Load Ports, 12"
With FOUP ID Readers
Beam module:
Cu colors beam
Mo colors beam
Sample stage
With vacuum chuck, 8"-12"
Computer controlled stage motion for X, Y, 0 and Z-Axis
Precise goniometer
With sensing optical encorder system
Control and data processing system:
Control computer
Operating system: Windows XP
LCD Monitor
Air cooling chiller
Center chip
Isolated stone base for optic mechanism
Anti-vibration structure
COGNEX Pattern recognition.
RIGAKU MFM310是一种用于工业应用的X射线计量工具。它是一个提供高分辨率、大场图像的最先进的X射线成像系统。它旨在快速测量和准确地表征各种样品。该系统采用了几种先进的检测和成像技术，以实现最高的精度和可靠性。RIGAKU MFM 310由广泛的元件构成，如X射线探测器模组、氙气管和塔。探测器模块用于检测X射线辐射并产生高分辨率图像。氙气管是用于照射样品的X射线辐射的大功率源。塔是一种支撑结构，用于将组件固定到位并确保正确对齐。MFM310使用两种不同的成像方法：点感应和全场成像。在点感测中，检测器测量样品产生的X射线光子数量。在全场成像中，同时对样本中特征的大小和位置进行成像。这样可以进行更精确的测量。MFM 310还提供多种光谱选择，包括拉曼散射光谱和傅立叶变换红外光谱。这些技术用于测量样品的组成，并确定它们如何与不同形式的辐射相互作用。此外,RIGAKU MFM310还提供高级分辨率和信噪比（SNR）功能,以确保准确的分析和结果。系统可以检测到小至0.5微米的特征，SNR超过100,000：1。这使得捕获复杂的细节和精确测量甚至非常小的特征成为可能。总体而言，RIGAKU MFM 310是工业应用的先进X射线计量工具。它提供具有先进检测和成像技术的高分辨率大场图像。它还提供了广泛的光谱功能、高分辨率和SNR功能,以及更多功能,使其成为用户的理想选择。
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