二手 EVG / EV GROUP 805EZD #9225230 待售

EVG/EV GROUP 805EZD是一种专门为微电子器件制造应用而设计的电子控制真空和大气压晶片接合器。这种粘合器是一种可靠且易于使用的设备，配有先进的控制算法，可精确和可重复的结果。EVG 805EZD是一个完全自动化的系统，占地面积小，适合多种类型的实验室和生产设施。它具有12英寸（300毫米）晶圆级,可容纳各种晶圆尺寸和厚度。设备的加热级由定制设计的电阻加热元件提供动力,该元件可处理高达5kW的总热量,用于粘合剂或焊膏粘结。此外，加热元件和粘结区完全可用户配置，以方便不同的粘结形状和大小。该单元还带有多种气体箱构型，允许它与多种载气如氮气、氙气或氦气一起使用。EV GROUP 805 EZD通过集成步进电机对气体进行出色的流量控制,允许用户根据需要调整任何给定应用程序的流量。此外，该装置的板载压力监测器可用于确保给定粘结应用的最佳温度和压力条件。对于热压粘结应用，805 EZD利用了高达150N的夹紧力，带有补偿力和限制器，以确保整个粘结的机械压缩均匀，并满足特定晶片类型的要求。该单元内置的可编程逻辑控制器（PLC）还允许自动温度和力倾斜以及温度或力沉降,从而提供卓越的可重复性和可重复性。为确保EVG/EV GROUP 805 EZD的安全运行，该机配备了联锁盖和门安全工具。此功能包括使用安全限制开关和光学监控的布线环路,以防止进入债券区域,并在操作过程中保护资产。EV GROUP 805EZD是一种精密可靠的自动粘合器,是微电子设备制造的理想选择。它具有广泛的功能,为任何类型的粘结应用程序提供最大的控制和灵活性。