二手 EVG / EV GROUP Gemini #9262790 待售

EVG / EV GROUP Gemini
製造商
EVG / EV GROUP
模型
Gemini
ID: 9262790
Wafer bonders, 8" With second bond chamber.
EVG/EV GROUP Gemini是一种高科技结合仪器,利用先进的纳米表面对准技术进行先进的复合/结构/材料连接应用。该机操作有双工区,并具有加热XY-表350nm µm精度。它还具有卓越的拉力和温度控制系统,以确保精确和可重复的结合过程。该装置还采用了最先进的真空系统,提供无毒、无缺陷的生产装配,具有200毫米晶圆尺寸的处理能力。该装置配备了自动晶片级调节、模具级调节、集成热封卡盘,用于精确密封和放置。EVG Gemini在粘结过程中提供精确和可重复的温度和压力控制,快速的压力控制和高达1000 °C的精确温度控制。它还提供了模具和晶片水平的精确和可重复的调整,以及广播晶片对齐和均匀晶片水平调整。EV GROUP Gemini还提供了对包括金属、陶瓷和塑料在内的一系列接触材料的出色附着力,具有高达4点快速接触功能。集成的流程监控系统使用户能够获得联系流程的准确映像反馈。该设备还配备了集成显微镜系统,其中高分辨率CCD摄像机拍摄结构/复合表面的实时图像,使接触过程能够即时反馈。双子座设计用于粘合广泛的基板,与热气回流、感应耦合等离子体(ICP)、无浆等先进工艺兼容。该机适用于微观组装和结构,提供了可靠的可重复性的安全粘结。
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