二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #293587502 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+是一种先进的蚀刻和灰烬系统,旨在使高精度蚀刻和灰化过程更容易和更高效。该机是一种结合了高端蚀刻和灰化系统，与先进的工艺和软件控制的工具，成为一个单一的集成平台。AMAT EMAX_CT+机是一种精密蚀刻和灰化的多功能解决方桉。它提供了一致的蚀刻深度和均匀的蚀刻微观地形，并为Si、GaAs和CdS等颗粒的抗剥离和蚀刻提供了沉积和蚀刻配方参数的工艺控制选项。该机配备了集成的反脉冲发生器，为离子束蚀刻过程提供了可重复的时间和持续时间。Sub-1µm精度和0.05 µm精度使其成为从简单的几何蚀刻任务到需要高精度的高级研究项目等应用的理想解决方桉。软件自动化设备旨在降低运营成本并提高整体流程性能。设计了各种功能、软件和控制,以确保即使使用具有挑战性和敏感性的基板也能保持所需的蚀刻参数和工艺。用户友好的前面板可轻松访问配方、参数、操作条件、警报和过程统计信息。安装向导和集成诊断程序进一步简化了操作。应用材料E-MAX CT+具有一个封闭的腔室，具有先进的安全特性，可最大程度地减少人员接触颗粒和蒸气。它旨在满足严格的安全和操作要求。此外，根据边缘隔离、电压模式技术和软件稳定参数进行蚀刻，确保优化工艺效果。维护和维修程序既快又容易，因为用户只需要定期更换蚀刻室的内衬即可。E-MAX CT+会在每次蚀刻会话之前自动完成工艺室的装配和测试,从而缩短系统设置时间,同时确保准确性和可靠性。综上所述,AMAT/APPLICED MATERIALS E-MAX CT+蚀刻和灰化系统是一种适合蚀刻和灰化工艺要求低于1 µm精度、可重复结果和最大工艺控制的理想解决方桉。集成的反向脉冲发生器、过程控制以及易于设置和维护，使这台机器成为高级蚀刻机不可或缺的工具。