二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #293753868 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+是一种蚀刻器/asher设备，设计用于高可靠性和高达512°C的工艺温度。它集成了射频功率、压力和温度控制两个蚀刻和灰分模式和高均匀性。该系统针对高蚀刻率和最大程度地减少对基材的损害进行了优化。该单元配备了一个高精度的移动卡盘，在蚀刻或灰化过程中提供精确的定位和扫描。这有助于实现卓越的工艺一致性。它还具有射频发电机,提供卓越的电力传递和稳定性.这有助于实现高蚀刻速率以及对各种材料蚀刻应用的良好选择性。机器由SABRE控制器供电。这款高性能控制器旨在提供准确可靠的编程、精确的压力和温度控制以及易于使用的人机接口（HMI）。它还提供实时统计过程监控、自动样本识别和配方优化功能。该工具还提供了多种功能,旨在优化蚀刻和灰化过程。它提供了可选的蚀刻配置文件,如恒定速率蚀刻、线性或可编程的p-t配置文件以及可选的掩码模式。该资产还支持温度感测和蚀刻速率控制，以实现最佳工艺稳定性。先进的闭环温度控制模型可确保整个基板的温度高度均匀。此外，该设备还提供复杂的诊断功能，如过程监测、腔室气体运动检测和先进的基板应力分析。它还包括先进的安全联锁，帮助确保安全操作，即使在意外的过程短途旅行。总体而言,AMAT EMAX_CT+是一个高级蚀刻器/asher系统,可提供出色的过程稳定性、统一性、选择性和可靠性。它是蚀刻和粉刷各种材料的绝佳选择。