二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9189026 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+是一种精密的干蚀刻和灰化解决方桉,旨在提供半导体制造过程中的精确结果。这种功能强大的干蚀刻和灰化器集成系统具有先进的等离子体工艺和晶圆传输自动化，两者都能提高生产率和提高均匀性。该系统利用革命性的等离子体过程，将低压、高功率和磁场参考结合在一个腔室中。这提供了更高的蚀刻选择性、出色的均匀性和更高的吞吐量的独特组合。然后，自动晶片传输确保每个晶片被精确地放置在蚀刻室中，并通过增加多个级，确保在精确控制总蚀刻时间和蚀刻重复性的情况下完成蚀刻和灰化过程。此外,集成的闭环模块提供了一定程度的自动化和灵活性,使AMAT EMAX_CT+半导体行业中各种硬质材料的快速制造和加工的完美解决方桉。利用闭环模块，可以自动调整压力、偏差和功率等蚀刻参数，使其符合所需的性能标准。无论腔室温度或正在处理的晶片数量如何,这都能提供一致的结果。此外，这些腔室的设计即使在处理不同晶圆尺寸时也能保持均匀性，从而确保高产量和可重复性。集成的可视化和优化工具使APPLIED MATERIALS E-MAX CT+成为市场上最精确的干蚀刻和asher解决方桉。控制单元中依赖于平台的诊断允许实时监控蚀刻选择性和晶圆温度。这意味着任何具有等离子体工艺参数的问题都可以快速准确地识别和纠正。此外,蒙特卡洛分析和二维模拟等综合分析工具为操作员提供了详细的系统分析,以便能够快速确定性能的最优条件,并以最小的操作员干预。AMAT E-MAX CT+结合了先进的等离子体处理技术、自动晶圆传输以及集成的诊断和优化工具，是半导体行业精密蚀刻和灰化工艺的终极选择。