二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9193737 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+是一种用于各种半导体工艺的高性能蚀刻器/asher。该设备采用高效双频蚀刻和灰化技术，提高了选择性、工艺一致性和低拥有成本。CT+配备了先进的基于Interca-TM的光学控制系统，用于精确的晶圆对晶圆控制，并允许广泛的蚀刻参数设置。AMAT EMAX_CT+ asher能够蚀刻25到200 mm之间的目标基板.它具有广泛的功能，包括高压、低压、可变压力ashing、热ashing、蚀刻。其自动调谐单元可快速优化任何给定过程的灰化过程条件。CT+能够比其他类似系统实现更快的蚀刻速率,再加上占用空间小,使其成为大容量晶圆处理的理想选择。机器封装在一个10类洁净室兼容的外壳中，并使用高流量、抽水的外壳，使有害产品远离操作员。它的加工站安装在一个清洁房间兼容的机械臂上，对工具的输入包括晶圆提升销、驱动主轴、掩模处理和可调节的喷嘴配置。可编程热板可实现精确的蚀刻停止控制和灰度温度稳定.资产的CF4气体输入受到流量控制和监控，以保持最佳工艺条件。APPLICED MATERIALS E-MAX CT+适合于广泛的应用，包括半导体蚀刻、光致抗蚀剂剥离、蒙版和光致抗蚀剂曝光、灰化、清洁和氧化。可用于退火活化、金属沉积蚀刻、等离子体后处理、薄膜沉积。该模型以低功耗运行，为经济高效和环保的解决方桉产生最小的浪费。它体积小，效率高，是高容量晶圆加工的理想选择。