二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9235112 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+Etcher/Asher是一个先进的蚀刻和清洁平台,旨在满足半导体行业的各种蚀刻和清洁要求。该设备配备了最新的等离子体蚀刻技术，为高长宽比孔、浅沟、侧壁提供了有效的解决方桉。该系统能够处理各种各样的腔室大小和类型，允许对大小晶片进行蚀刻。该装置采用低应力技术的高频电源，以确保高质量的蚀刻轮廓。满载平台具有与单阴极机同时处理多达六个大晶片的能力。它在整个晶片盆地都有温度控制，包括可调节温度和射频分布，以便更好地控制过程。AMAT EMAX_CT+配备了直观的HMI，使操作员能够定制预编程配方，设定工艺气体和时间、压力、温度等输出参数。APPLIED MATERIALS E-MAX CT+工具非常适合MEMS封装的SiO2蚀刻、晶圆切丁和钝化层等应用。它也适用于蚀刻后的残渣清除过程，如湿洗或干洗。该资产被设计为比传统系统更坚固可靠，使其成为生产级骑行时间的理想平台。EMAX_CT+型号采用先进的安全性、效率和控制功能。它配备了自动晶粒识别，减少了晶粒标记的外观。它具有检测和监测异常气体使用和储层压力的内置气体报警能力。自检功能允许自动定期自检，以便更好地管理设备。该系统还配备了气流监测仪和气体消耗监测仪，减少了气体的使用。加上易于维护和可更换的部件,减少了时间和成本。E-MAX CT+是精密蚀刻和清洁应用的理想解决方桉。它为各种晶片和应用程序提供了出色的蚀刻型材和工艺控制。坚固的设计、直观的HMI、先进的安全和控制功能以及可交换的部件使APPLIED MATERIALS EMAX_CT+成为半导体生产和研究的理想蚀刻器/粉碎器。