二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9261583 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+蚀刻器/asher是为先进的半导体器件制造而开发的高性能、半自动的加工设备。它为精密蚀刻和清洁过程提供了卓越的功能。该系统采用基于卤素的蚀刻和灰化方法，以具有成本效益的速率达到最高性能水平。利用其获得专利的气柜技术，蚀刻器/asher能够可靠地蚀刻半导体材料，而无需昂贵、繁琐的手动工艺。该设备高度自动化,具有自动化的过程控制和直观的用户界面。与传统的处理系统相比，AMAT EMAX_CT+蚀刻器的一些关键特点包括：低温气体电容、快速循环时间和低功耗。该机利用反应性离子蚀刻（RIE）等先进的蚀刻特性，在半导体材料中精确成型和形成必要的特性。利用严格的工艺控制设置,APPLICED MATERIALS E-MAX CT+蚀刻器/asher可以蚀刻比9 nm更薄、比10 µm更精细的栅极氧化层。可编程过程配方还允许用户优化产量，减少复杂过程的周期时间。卤素种类的使用使得该工具能够蚀刻大量掺杂的材料，短路的风险可忽略不计。内置的安全功能包括过载保护、水位检测和50毫米臭氧安全屏障。卤素加工机柜利用冷藏干燥机技术提供清洁的加工气体，提高了资产的蚀刻性能。一个开放的工艺室使晶片能够完全访问，从而使我们的蚀刻器/asher能够快速和方便地维护。该模型具有紧凑而坚固的设计,可轻松集成到各种现有半导体制造环境中。APPLICED MATERIALS EMAX_CT+ etcher/asher是半导体制造的宝贵工具,提供卓越的性能和成本效益。凭借其最先进的蚀刻和灰化能力，该设备能够满足先进半导体工艺的最严格要求。其特点使得高产量、高性能集成电路的可靠制造成为可能。