二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9270846 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+
ID: 9270846
System.
AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+是一种双蚀刻和asher设备,旨在以经济实惠的尺寸和成本提供可靠的蚀刻和灰化性能。它具有多种特性和功能,非常适合各种应用程序。AMAT EMAX_CT+结合了高温蚀刻和灰化能力以及离子泵送真空系统的优点。它提供了精确、可重复的过程控制,并增加了易于安装和单元吞吐量的优势。这台机器还提供可选的激光扫描和其他高级功能,以满足苛刻的应用。应用材料E-MAX CT+适用于蚀刻和粉刷各种材料,包括陶瓷、硅片、III-V化合物和聚合物。它由不锈钢室、涡轮泵和气体质量流量控制器构成。气体输送工具是模块化的,对压力和流量提供快速、可重复、准确的控制。资产还可以支持多种气体,以提高效率、操作灵活性和更高的工艺产量。E-MAX CT+还具有几个用户友好的功能。它具有直观的板载用户界面,可以轻松调整参数并实时监控蚀刻/灰化过程。它还具有用于与自动化控制系统集成的远程控制端口。这些端口提供了控制、收集和处理原位数据、控制温度、监控压力以及执行机器人扫描和晶片加载的能力。APPLIED MATERIALS EMAX_CT+内置了多个安全功能,以确保安全运行。它具有真空互锁模型,以防止暴露于危险环境中。该设备还提供自动清除和排气循环,以保护人员和设备。最后,它配备了一个E-stop,以在紧急情况下停止蚀刻操作。总体而言,APPLIED MATERIALS eMax CT+是一个出色的蚀刻和灰化系统,可在各种应用程序中提供可靠、可重复和可控的性能。它易于安装和使用,具有高级功能,并内置了多种安全功能。因此,它是一个经济实惠、可靠的单元,适合广泛的商业和研究应用。
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