二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9271007 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+Asher是一种用于蚀刻和灰化应用的单晶圆处理设备。该系统能够提供业界最高的吞吐量和最高的生产率,使客户能够满足不断增长的产量要求并降低成本。AMAT EMAX_CT+是中低批量生产的理想选择,具有广泛的产品功能,如高精度蚀刻、复杂的高纵横比结构蚀刻,以及铝和硅之间极好的选择性。APPLIED MATERIALS E-MAX CT+利用了先进的冷却技术（ACT）体系结构,这是一个精确、高流量的加热器-冷却器组织,可实现快速的过程控制和热特性。这种专有体系结构可确保晶片之间以及单个晶片上的模具之间有效且均匀的热分布。它允许快速设置和卓越的过程控制和调整能力。闭环单元和过程控制器紧密相连，能够实时监测和调整配方参数，而不会中断晶圆处理。APPLICED MATERIALS eMax CT+能够对具有亚微米级特征尺寸（<0.5 μ m）的电介质进行高精度蚀刻。其可自定义的工艺程序允许对蚀刻工艺进行微调优化，以实现精确的层厚控制，这是设备可靠性的关键参数。高温范围（最高300 °C）能够蚀刻耐高温氧化物，如PECVD氮化物，以及金属和SiO₂之间的高选择性。AMAT eMax CT+提供最多三种端点检测技术的选择，包括紫外线反射率、热测法和荧光测量。这使客户能够为其设备体系结构选择最佳检测技术。例如，通过结构底部需要高分辨率的结构，热力计端点检测是高长宽比的理想选择。荧光端点检测是大型结构全表面蚀刻的理想选择，而紫外反射端点检测则是薄膜蚀刻的理想选择。APPLICED MATERIALS EMAX_CT+是蚀刻和灰化应用的理想平台。独特的双工艺室技术提供了两全其美的技术：一个用于精确特征形成的干蚀刻室和一个用于快速去除材料的清洁蚀刻室，帮助客户减少周期时间并提高工艺产量。此外,内置的燃气溷合机通过优化燃气流量、压力和燃气输送,并以最小的人工干预,帮助客户降低拥有成本和改善正常运行时间。综上所述，AMAT E-MAX CT+是一种用于蚀刻和灰化应用的高度可靠、高效、精确的单晶圆处理工具。其先进的制冷技术（ACT）体系结构、高温蚀刻范围、可定制的工艺程序以及可选的端点检测技术使其成为希望最大限度地提高生产效率、精度和可靠性的客户的理想选择。