二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9298224 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+是一款高性能蚀刻器/asher,旨在为一系列先进的半导体应用提供高质量的结果。它用于对具有复杂特征的高级半导体器件的曲面进行阵列设计,如内存、逻辑、RF和显示应用。此工具具有高级均匀性控制和各种蚀刻过程,可用于诸如接触孔蚀刻、栅极蚀刻和Via蚀刻等应用程序。AMAT EMAX_CT+具有先进的800MHz等离子体源,能够进行等离子体蚀刻、交流灰化和湿式剥离。其创新的气体输送设备对蚀刻工艺提供精确和可重复的控制,而其高功率的预测量室能够对进入的晶片进行精确的测量,并自动调整以适应任何晶片不匹配。此外,APPLIED MATERIALS E-MAX CT+还配备了最新的安全锁定技术,可防止未经授权的人员操作系统。该设备还提供高级自动化功能,以提高吞吐量和用户生产率。AMAT综合流程控制和诊断软件包可用于进一步改进蚀刻结果。最后,eMax CT+还提供了广泛的处理功能,从低频10-80kHz到高频(400MHz)。这样可以确保在复杂设备上均匀蚀刻,即使蚀刻速度最高。它也是业界首个具有群集功能的蚀刻器/asher,提供专属的自我评估功能,使机器能够自动为指定的进程选择正确的操作参数。总体而言,APPLIED MATERIALS EMAX_CT+是一款先进高效的蚀刻器/Asher,可提高速度、精度和可重复性,非常适合先进的半导体技术。凭借其独特的特性和功能,它为高级用户提供了在每种产品中获得最佳性能的能力。
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