二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9314602 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+是一种蚀刻器/asher设备,用于修改一系列基材的地形以创建所需的表面光洁度。该系统非常适合半导体器件的制造，并经常用于集成电路的后端处理。AMAT EMAX_CT+可用于蚀刻或粉刷基板地形中的各层，包括铝、钛、铜和硅。它可以进行多种蚀刻/灰化工艺，如干蚀刻或湿蚀刻、湿条、深反应性离子蚀刻（DRIE）和电化学蚀刻（ECE）。该单元还提供了一个额外的蚀刻/灰化工具,可以精确控制工艺参数,如蚀刻时间和温度。APPLIED MATERIALS E-MAX CT+配备了三级端点检测（EPD）机。此刀具在蚀刻/灰化过程中监视基板的电阻率和层厚度。利用环保署的资产，可以准确预测工艺的终点，从而确保达到所需的表面光洁度。此外，该模型允许在同一基板上进行多次蚀刻/灰化运行，而无需重新设置EPD设备的参数。E-MAX CT+是一个大型且可靠的系统,提供卓越的性能和准确的结果。它能够精确蚀刻/灰晶片，尺寸可达300毫米，并且可以在受控的气氛中运行蚀刻/灰化过程。而且，该单元配备了全自动装卸机，以及一系列的流程监控功能，如数据记录、流程映射、配方管理等。由于其先进的功能,AMAT eMax CT+是需要精确度、速度和精确度的基板加工行业的理想蚀刻/粉碎器工具。此外，该工具易于使用和维护，并得到非盟特派团全面技术支持。