二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9375192 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9375192
Oxide etcher
(3) Chambers
(12) Gas panels
AMAT ETCH Configurable AC Rack
RF Generator rack
FI (EFEM):
UPS
Keyboard Video Mouse (KVM)
Ethernet switch hub: CTRLINK
Fast Data Gateways (FTG)
Long flex controller Assy (Flex 4)
Light curtain
Load port
RFID
ATM Robot
Aligner
Track
Robot controller
Gas panel temperature controller
Light tower
Intake plenum enclosure
MF Platform:
Type: 5.3 FI
TM Robot
TM Robot controller
I-Pump
TM Baratron gauge
Load lock vacuum gauge
Load lock indexer controller
Load lock and TM Diffuser
Load lock vent valve
Auto Pressure Controller (APC)
Slit valve
Modular DNET IO Controllers (MDI)
Chamber A, B and C:
Chamber Control Modules (CCM)
Shower head
Chamber liner
Cathode liner
Slit liner door
MAG Driver
ESC High Voltage Module (HVM)
Throttling gate valve
Embedded endpoint
Ceramic puck
HE Controller
Vacuum gauge
Vacuum switch
Pump
ISO Valve
RF Generator and match box.
AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+是一个先进的蚀刻/分散平台,旨在为集成电路的制造提供卓越的性能。它针对3D/2D蚀刻进行了优化,通过离子束、电感耦合等离子体和磁力驱动过程的组合,具有高密度、超精细的阵列功能。AMAT EMAX_CT+通过结合高压磁流体动力（MHDF）和低压感应耦合等离子体（ICP）技术,提供业界领先的蚀刻能力。它能够创建复杂的3 D几何形状,非常适合微型制造高级设备,包括半导体、光电和MEMS组件。APPLICED MATERIALS E-MAX CT+高度可定制，可配置各种等离子体和离子束技术，用于要求最苛刻的应用。它易于使用，确保快速可靠的基板蚀刻工艺，同时提供卓越的空间分辨率，对于最新的小型化设备技术至关重要。APPLICED MATERIALS EMAX_CT+的工艺室有几个特点，在蚀刻过程中最大限度地提高基板的压力和温度均匀性，确保最佳的基板均匀性和等离子体稳定性。该腔室也是低维护，100%无泄漏，并且需要最少数量的操作员参与。蚀刻过程在封闭的环境中进行，特定的特性如Peltier泵、双密度晶圆处理和先进的温度监测工具有助于减少颗粒物污染。这些特性使AMAT eMax CT+成为经济高效制造集成电路的绝佳平台。E-MAX CT+利用可再生和惰性气体来减少环境影响并限制危险材料的处理。它具有气体输送系统,可确保工艺气体的精确高效输送,为当今的现代制造要求提供灵活可靠的蚀刻平台。AMAT/APPLIED MATERIALS EMAX_CT+是一个可靠且易于使用的蚀刻/分散平台,旨在为电路制造需求提供准确性和一致性。其优越的均匀性和高密度造型能力使其成为高精度、3D/2D制造的绝佳选择。
还没有评论