二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9379801 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+是一种精确的等离子体蚀刻和灰化设备,旨在支持各种现代先进技术操作。其最先进的、用户友好的设计使蚀刻、清洁和灰化操作具有前所未有的准确性。AMAT EMAX_CT+的设计注重流程性能、高级监控、快速吞吐量和改进的操作便利性。应用材料E-MAX CT+具有业界最高的过程重复性和稳定性。其绝佳的精密技术允许用户在纳米深度步骤中测量蚀刻深度，并在高长宽比应用中保持表面精度。该系统还具有创新的多流体喷射器和气体分配单元，可提供低密度、自由基丰富的等离子体。这为初来者在整个曲面上提供了不同的效果。AMAT/APPLIED MATERIALS EMAX_CT+提供无与伦比的过程环境控制和监控。其主动温度和压力控制机具有精确的热和压力调节功能，以及一种创新的光学监控工具，在蚀刻和灰化过程中提供来自基板的实时反馈。资产还为过程控制提供了最好的定义和可重复性。EMAX_CT+还拥有一个用户友好、直观的图形用户界面（GIU）,用于精确的过程监视和控制。只要一触,用户就可以调整气流、运行到运行、蚀刻配置文件中的设置点,并监控各种流程参数。APPLIED MATERIALS EMAX_CT+还提供快速机器人控制的材料处理操作。它获得专利的机器人控制使载具和固定装置在装载、卸载和处理过程中能够即时、精确地移动。APPLIED MATERIALS eMax CT+提供独特的压力管理技术,可优化基板冷却,同时最大程度地减少对过程的热影响。通过激活和停用冷却模型，确保了设备的最佳蚀刻和清洁性能。EMax CT+是一种强大的等离子体蚀刻和灰化解决方桉,可提供最大的吞吐量和精确控制。它全面而独特的特性使其成为各种先进技术操作的理想解决方桉。精确监控、快速吞吐量、前所未有的操作便利性相结合，使得E-MAX CT+成为任何蚀刻或清洁应用的完美选择。