二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9390469 待售
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ID: 9390469
晶圆大小: 12"
Oxide etcher, 12"
(3) Chambers (A, B, C)
MF Platform type: AP
FI (EFEM):
SUPERMICRO GEN3 0090-06587 Servers
EATON Powerware 5115 UPS
MKS MACRONODE 0190-22543 (FI Ethernet digital I/O)
AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-05111 Keyboard Video Mouse (KVM)
D-LINK 0190-39904 Ethernet switch hub
AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-22545 Sealevel
AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-25273 Fast Data Gateways (FTG)
AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-25274 Fast Data Gateways (FTG)
AMAT / APPLIED MATERIALS 0090-06516 Short flex controller assy
SST DNET Scanner B/D Short flex controller assy
MEI XMP B/D
SBS Serial B/D
GE SBC B/D
(2) TAKEX SS20-TR40 Light curtains
(3) TDK TAS300 Load ports
(3) HERMOS TLG-RS232 RFIDs
YASKAWA XU-RCM6841 ATM Robot
YASKAWA XU-ACP4860 Aligner
YASKAWA XU-ACL4230 Track
YASKAWA XU-CN1170A Robot controller
WATLOW 96 Gas panel temperature controller
AMAT / APPLIED MATERIALS Light tower
AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-81205 Intake plenum enclosure
MF Platform:
Type: 5.3 FI
NSK VHP TM Robot
NSK ELA-B014CFL-03 TM Robot controller
ALCATEL A100L I-Pump
MKS 124AA-00010BB TM Baratron gauge
GRANVILLE-PHILLIPS 275 Mini-Convectron TM Vacuum gauge
(2) GRANVILLE-PHILLIPS 275 Mini-Convectron Load lock vacuum gauges
(2) PANASONIC MQDB011AAD03 Load lock indexer controllers
(2) Load lock diffusers
TM Diffuser
(2) Load lock vent valves
MKS 640 Auto Pressure Controller (APC)
Slit valve
Modular DNET IO Controllers (MDI)
Chamber A, B and C:
(3) TENTA Water leak detector B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) AMAT Interlock B/D Chamber Control Modules (CCM)
(6) MKS Quad serial B/D Chamber Control Modules (CCM)
(6) TENTA Digital I/O B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) MKS Analog I/O B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) SBS IP Carrier B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) SST Devicenet scanner B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) TENTA SBC B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) TENTA Power supply B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) Shower heads
(3) Chamber liners
(3) Cathode liners
(3) Slit liner doors
(3) MAG Drivers
(3) ESC High Voltage Modules (HVM)
(3) Throttling gate valves
(3) Embedded endpoints
(3) Ceramic pucks
(6) HE Controllers
(3) Vacuum gauges
(3) Vacuum switches
(3) Pumps
(3) ISO Valves
(3) RF Generators and match box.
AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+是半导体器件制造中用于各种材料的强大而现代的蚀刻器/灰化器。它旨在为晶圆蚀刻和晶圆灰化工艺提供经济高效、用途广泛且可靠的处理。该设备包括一个控制单元，其中包含管理加工配方、扫描和晶圆处理所需的所有组件，以及一个带有封闭真空环境的工艺室。该系统还具有高性能的机械臂，用于将晶片送入和送出高纯度的超低温环境。AMAT EMAX_CT+被用于制造半导体器件的许多工艺步骤，能够处理各种用于蚀刻和灰化的腔室配置。该装置能达到较高的蚀刻速率，具有较高的均匀性。此外，该机有一个可调压力的加工室进行蚀刻，和一个石英工艺管清洗气体灰化。它还配备了温度控制器，允许在加工过程中精确统一的温度控制。APPLICED MATERIALS E-MAX CT+工具能够处理单个晶片蚀刻和灰化过程,使其能够在最少维护的情况下同时蚀刻和灰化多个晶片。而且，资产采用氧介电蚀刻工艺，以减少该工艺产生的颗粒数量，最大限度地减少表面损伤。此外，它还配备了保护工艺环境和操作员免受潜在危险化学品或颗粒危害的高级安全特性。AMAT eMax CT+还提供了用于控制、管理和监视模型操作的综合软件包。它具有直观和易于使用的触摸屏界面,以及用于快速创建配方的集成配方编辑器。软件包还包括高级诊断程序,使用户能够快速排除问题。总之，EMAX_CT+是一种用于制造半导体器件的高可靠性、高效率的蚀刻设备。它能够在一次运行中处理多个蚀刻和灰化过程,具有卓越的吞吐量和统一性。集成软件包提供简单的配方管理和高级诊断,可以快速排除故障。
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