二手 HITACHI M 511AE #9133920 待售
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ID: 9133920
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Plasma etching system, 8"
System configuration: 3-Poly CH
Etching CH gases: N2, SF6, CL2, CF4, Ar, O2
Gas Jungle Information :
N2 : STEC7440-20SCCM, STEC4400-200SCCM
SF6 : STEC7440, 20SCCM, 300SCCM
Cl2 : STEC7440-50SCCM, STEC4400-200SCCM
CF4 : STEC7440, 50SCCM
O2 : STEC4400, 2SLM
Ar : STEC7440, 300SCCM
HW Unit :
PC Rack
Transfer box
Main body
Chiller
1996 vintage.
HITACHI M 511AE Asher/Etcher是一种高科技微减法处理工具,设计用于工业和研究层面的应用。该装置能够严格控制用于纳米级涂层、沉积和去除材料的化学蚀刻和溅射技术的范围。HITACHI M 511 AE以坚固耐用的结构和多级容量为特点,为用户提供了解决各种样品制造过程的功能和改进。M 511AE配备了重型工业级歧管,非常适合处理大型工艺订单,以及灵活的电源选项,可根据各种特定于样品的要求进行定制配置。设备装有许多专用的附件组件,包括旋转进纸器、源装载器和多级存储容器,每个组件都经过优化,以实现精确的参数控制和强大的性能。精密气体分配管提供用户定义的居住时间,可以调整以满足各种蚀刻物种的需要。M 511 AE能够处理多种基材,包括金属、聚合物、合金、陶瓷和金属陶瓷。腔室宽大的4英寸进料孔径使用户能够方便地以任何所需方向引入粗糙粒度的样品材料,而不会损坏样品表面。511AE的集成真空系统保证了在受控环境中的环境安全蚀刻。除了蚀刻和溅射功能外,HITACHI M 511AE还具有执行额外处理技术的能力,如滚珠铣削和脉冲电沉积。可调的循环时间和均匀的温度控制进一步增强了装置的灵活性,以确保可重复蚀刻的结果不会失真。使用可编程设置,HITACHI M 511 AE非常适合重复性过程,并以最高的精度和可重复性提供高质量的基板。M 511AE经过安全认证,设计符合行业安全标准。周到的设计特点,如故障安全关闭阀、坚固的模块检测系统和封闭式开关箱,旨在保护和保存精细样品,确保工艺精度,并减少用户受伤和设备损坏的可能性。M 511 AE是一种先进技术的蚀刻器/asher,非常适合用于发动机车间、微加工实验室和研究设施。易于操作,加上卓越的性能,确保结果始终可靠准确。
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