二手 HITACHI M 511AE #9400299 待售
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ID: 9400299
晶圆大小: 8"
Etcher, 8"
(3) Cassettes / FOUP Position
SECS II Interface
Metal etch: Microwave ECR (M), UHF ECR (U)
Strip: EMCP Asher
Poly etch: Microwave ECR (M), UHF ECR (U), XT Chamber
Oxide etch: Microwave ECR (M), UHF ECR (U)
Signal lamp tower
No AGV
No OHT
ESC Monopolar
No TM Bias enhancement
EC Turbo molecular pump:
SEIKO SEIKI STP-H2001K2 Controller
DAIHEN ES7 EC Source generator
PEARL CF-500-400K EC Bias generator
(2) EDWARDS iQDP8 Loadlock pumps
EDWARDS iQDP80 Pumps
MYDAX 1VL5WB Chiller
Cooling channels
Gas configuration:
Ar / 300
Cl2 / 500
SF6 / 300
CF4 / 100
HBr / 200
Cl2 / 100
O2 / 40
Power supply: 208 VAC, 50/60 Hz, 3-Phase.
HITACHI M 511AE是一种蚀刻器或沥青划刀，配有直流电动机，用于在溷凝土、沥青等表面凋刻和蚀刻印记。这种由电机驱动的机器在各种材料上进行校准和凋刻，用于标记或制作标志。该工具采用电子速度控制系统，在执行精确尺寸的标记和蚀刻时具有更高的精度水平。速度可以从100次调整到12,000次/分钟,自动反向（超速）控制系统有助于保持打印标记的精确长度。HITACHI M 511 AE的设计让使用者可以使用深度调整旋钮轻鬆改变行程深度。这个装置使用齿轮开关来增加或减少深度达3毫米。为确保平稳、精确的操作，驱动这台机器的电动机设计了一种减振机构，有助于最大限度地减少使用这台机器时产生的噪音和振动。这台机器配备了一个指示器，显示各种电源设置和其他信息，包括凹槽的当前深度。此外，这台机器有一个柔软的表面外壳和一个内置的储物袋作为附件。这台机器的附件包括一套用于蚀刻的碳条、一个用于研磨的磨料橡胶轮和一个便于更换工具的卡盘。M 511AE是一种多用途的机器，可有效地在各种材料（从溷凝土到沥青等表面）上进行标记制作、开槽和凋刻。由于它的马达被开发成可以使用广泛的材料，它的速度和状态设置可以很容易地针对不同的应用进行调整。圆滑的设计保证了机器易于储存和使用，并附带了几个配件，用于各种蚀刻任务。
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