二手 LAM RESEARCH 2300 Versys #9033337 待售
看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。
单击可缩放
已售出
ID: 9033337
优质的: 2004
Etch / Ash / Clean plasma processing system, 6"
Domino System
2300 Proces Module:
(4) Versys silicon 2300 options
(4) Chemraz O-rings
(4) 2200 L/S Seiko turbo pump
(4) Heated foreline
(2) Versys silicon quick clean kit
(1) Versys silicon pend. valve kit
2300 Gas Box:
(4) Versys silicon 2300 gas boxes
(48) Regulated inlets (per gas line)
(4) 12-gas configurations
2300 Platform:
(1) 3 Open Cassette
(1) WIDS Top Read
(1) Conditioning Station
(1) User Interface: Side and Front Monitor
(1) System UPS Circuitry
(1) Earth Leakage Breaker
(1) Cable: TM-Subpanel, 50FT
Rev 3 tunable ESC in all chamber
2004 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Versys是一款先进的蚀刻/灰化设备，用于创建集成电路设备。它结合了对流、热和等离子体技术，让用户在asher过程中实现优越的性能，从而缩短周期时间，提高生产率，改进过程窗口。该工具目前正在一些世界领先的集成电路（IC）制造设施中使用。Versys坚固的设计包括独特的腔室和平台冷却系统，提供卓越的温度平衡和卓越的蚀刻/灰度稳定性。它具有单驱动器传输单元,可实现快速灵活的响应,以及高级自动加载设备,可确保可靠的过程。Versys能够处理多种基材尺寸,并提供多种蚀刻/灰分解决方桉,包括DRIE、等离子体增强CVD （PECVD）、溅射和蚀刻-然后清洁（ETC）工艺。此外,其集成热处理（ITP）技术最大程度地减少了基板损坏和蚀刻循环时间,其"无触摸"ITP使加工室内的温度得以维持。该机还包括一个两级气旋洗涤器，不需要额外的子系统，并确保最优的过程控制。此外，Versys还拥有单层和双层船，可以容纳相同基板尺寸内的小型和大型基板。2300 Versys是寻求高性能蚀刻/ashing解决方桉的用户的绝佳选择。凭借其先进的技术、坚固的设计和广泛的工艺选择，强烈推荐用于集成电路制造。其先进的蚀刻和灰分工艺能力、卓越的温度平衡以及精确的基板尺寸处理,使其成为当今市场上最有效、最可靠的蚀刻/灰分系统之一。
还没有评论