二手 LAM RESEARCH 2300 Versys #9036038 待售

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ID: 9036038
Dry etcher Parts list: 4 Chambers : 2 PM/2 Strip Robot: L/L => Brooks, TR/CH => MAG7 Generator : Apex 1500/13 (2 ea), RFDS (2 ea) RPS: AX-2630 LRC-Q (2 ea), F120160-3(MKS) (2 ea) TMP: STP-A2203 (2 ea) Gas box: Enhanced gas box (Digital 12 line) (4 ea).
LAM RESEARCH 2300 Versys是一款创新的蚀刻器和asher,为先进的设备技术提供先进的处理能力。Versys平台专为可扩展性而设计,允许厂商在技术进步和开发新的设备节点时升级生产能力。全新的2300 Versys配备了先进的基板转移机器人,能够进行各种各样的蚀刻和灰化工艺。其最大容量为五个300毫米晶圆,处理时间可达300秒。它还配备了尖端的高分辨率闭环局域扫描仪,为所有蚀刻和灰化操作提供了极致的精度和精确度。先进的LAM RESEARCH 2300 Versys能够处理蚀刻、灰化和冷冻蚀刻工艺。蚀刻和灰化过程包括去除层层的材料以在基板上产生设计的图样。在晶圆厂工艺中使用蚀刻和灰化来绘制各种尺寸和形状的图样特征,如金属线、晶体管和电容器。2300 Versys也有冷冻蚀刻能力。在此过程中,使用极冷来蚀刻不需要的材料。这种冷蚀刻工艺对于110纳米及以下技术至关重要,因为这种技术需要极高的精度。LAM RESEARCH 2300 Versys还通过其先进的技术减少了工艺时间并优化了工艺分布,从而确保了卓越的正常运行时间和工作效率。Versys系统与多种材料兼容,从SiO2和SiN等易于加工的电介质,到较难加工的材料以及金属。这样可以确保2300 Versys非常适合许多不同的应用程序方桉。从芯片设计师的角度来看,Versys架构允许了巨大的灵活性,允许通过添加定制配方产生更多的自定义模式。此外,该系统在提供卓越结果的同时还具有足够的灵活性以处理未来技术的经验。总而言之,LAM RESEARCH 2300 Versys是一款卓越且先进的蚀刻器和asher,提供高端工艺、可扩展性以及极致的精确度和精确度。对于那些处理最新技术并希望确保最大生产力和质量的公司来说,这是一个完美的系统。
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