二手 LAM RESEARCH 2300 Versys #9044491 待售

LAM RESEARCH 2300 Versys是一款蚀刻器/asher,旨在为蚀刻和灰化应用程序提供高生产力和高级工艺灵活性。2300 Versys构建在具有HotWafer功能的Dual Pocket Lock平台上,可减少吞吐量延迟,从而允许在任何给定配方下实现更高的吞吐量。该系统配有多种蚀刻、清洁和灰分技术，用于不同的应用，包括反应性离子蚀刻（RIE）、等离子体浸入式离子沉积（PIID）、电子回旋共振（ECR）和动力学电感沉积（KID）。它的模块化设计将蚀刻机械的所有必要元素-源、腔室、控制器和电源-整合到单个机箱中,从而便于安装和维护。与传统蚀刻系统相比,LAM RESEARCH 2300 Versys还提供了更高的工艺灵活性、更低的拥有成本和更低的材料成本。2300 Versys可配置用于生产和研究应用程序,实现定制配置,以实现最佳的生产效率、正常运行时间和可重复性。其可靠、高性能的射频和微波发电机的尺寸特别适合有限的寿命维护。可调源/腔室隔离系统支持低电流等离子体的生成，而灵活的自动调谐控制则可实现快速、准确的工艺设置。此外,LAM RESEARCH 2300 Versys具有集成的质量流控制器和气体面板,可实时控制和监测过程中的气体,以及快速作用的反应室门和尘埃过滤器,可提供卓越的防尘和快速的晶片装卸。总体而言,2300 Versys为蚀刻和灰化应用程序提供了高水平的性能和灵活性。它的先进技术和集成系统确保了生产和研究环境的高可靠性和吞吐量。