二手 LAM RESEARCH 2300 Versys #9195904 待售

LAM RESEARCH 2300 Versys是为高通量DRIE（深反应性离子蚀刻）和ICP（感应耦合等离子体）蚀刻应用而设计的先进蚀刻器/asher。该蚀刻器具有介电室和先进的前馈控制系统，是高通量生产环境的理想选择。2300 Versys的前馈控制系统确保蚀刻过程高度均匀，使生产过程顺畅且可重复。它还配备了高分辨率传感器来监控关键蚀刻工艺参数，允许在整个工艺过程中进行微调控制。LAM RESEARCH 2300 Versys非常适合DRIE应用,因为它能够实现高蚀刻速率和光滑的侧壁轮廓,非常适合积极蚀刻介电材料。它在蚀刻环境中具有均匀的气流，可以精确控制蚀刻速率以及可重复的结果。2300 Versys还提供高功率射频（RF）源选项,包括ICP蚀刻源。这使得DRIE和ICP流程周期能够按顺序进行,从而提高了流程的灵活性和效率。此外,LAM RESEARCH 2300 Versys可以轻松集成到大型自动化生产环境中,从而允许大规模蚀刻应用。总体而言,2300 Versys是为ICP和DRIE应用程序设计的高级高通量蚀刻器/asher。由于其先进的前馈控制系统、均匀的气流和高功率射频源选项,该蚀刻器提供了精确且可重复的蚀刻工艺。此外,它可以轻松集成到大规模自动化生产环境中,使其成为高通量蚀刻应用程序的理想选择。