二手 LAM RESEARCH 2300 Versys #9282474 待售

LAM RESEARCH 2300 Versys etcher/asher是一款最先进的设备,旨在提供高吞吐量处理和更大的工艺灵活性。该系统专门设计用于将完整的3维模具加载到具有很高通量和过程重复性的基板表面上。它提供了广泛的工艺功能,包括反应性离子蚀刻（RIE）、等离子体蚀刻和灰化。Versys采用先进的章鱼多喷射原位过程控制,能够实现业界领先的统一性。它还具有对温度不敏感的蚀刻速率和可调屏蔽能力，可以提高工艺参数的精度和控制。其他功能包括可变压力范围、自动控制预编程蚀刻速率以及控制三维结构的能力。Versys还提供了将反应性离子蚀刻整合到各种蚀刻室中的能力。这样可以将设备放大以适应专门的蚀刻应用程序。该机还配备了提供基板精确对准定位的多轴分级平台，以及控制工艺条件、提供高均匀性的全集成真空工具。Versys采用先进的用户界面和直观的编程工具进行设计,以确保高效有效地生产蚀刻产品。其先进的软件促进了基板选择、位置控制和工艺选择的微调。内置的设计库允许为批处理轻松高效地检索和传输过程参数、形状和掩码。最后,该资产具有模块化设置和传输索引器,允许在工具之间或从一台机器到另一台机器进行快速、轻松的处理。2300 Versys 蚀刻器/asher是一种高级型号,它提供了一个新的精确度和对蚀刻和灰化过程的控制级别。其先进的软件、集成的真空设备、多轴分级平台，使得3维模具结构的精度和生产都得到了更大的提高。此外,其直观的用户界面、设计库功能和设计库允许高效高效的生产。