二手 LAM RESEARCH 4520i #9130287 待售

LAM RESEARCH 4520i是一款蚀刻器/asher，旨在提供超高长宽比蚀刻工艺。这款蚀刻器/asher是一款紧凑的高温设备，适用于广泛的应用，如半导体模具封装。4520i工艺分别在225°C和180°C下进行蚀刻和粉刷应用。该系统配备了专利的多缺口ECR蚀刻器，具有卓越的高纵横比蚀刻特性。多槽蚀刻器由两个主要部分组成：一个是在蚀刻室中磁化的气体分布线圈，另一个是作为蚀刻点的两个陶瓷喷嘴。气体分布线圈产生均匀的蚀刻气体羽流，以提供一致的过程。陶瓷喷嘴产生了一系列小的蚀刻离子，这些离子聚焦在基板上进行深蚀刻。LAM RESEARCH 4520i利用高速微控制器为基础的控制单元，允许各种功率、温度和压力设置易于调整。蚀刻过程由提供过程自动化和数据记录功能的可编程逻辑控制器（PLC）保护。空气过滤机还保证了清洁操作。选择4520i的好处包括成本效益、卓越的精度、高分辨率和高通量。LAM RESEARCH 4520i凭借其可变蚀刻面积、广泛的蚀刻深度和层层蚀刻能力，可以处理最苛刻的要求。4520i允许通过孔和其他模式对较小的零件进行蚀刻,从而提供了卓越的工艺控制,径流最小,产量高。最后,高精度的自动化控制工具和监控功能使LAM RESEARCH 4520i成为蚀刻和灰化应用的有效工具。