二手 LAM RESEARCH 4520i #9188609 待售

LAM RESEARCH 4520i Etcher/Asher是一种先进的晶圆蚀刻和晶圆灰化集成机器。该系统高度可定制，能够为各种应用产生最佳的蚀刻和灰分结果。4520i专为复杂晶片结构（包括III-V、硅和MEMS材料）的高精度蚀刻和粉刷而设计，具有卓越的精度和工艺重复性。专为缩短循环时间，提高成品产量而设计。该机配备了先进的等离子体输送系统，允许使用高功率的等离子体源，提供最佳蚀刻和灰分结果。蚀刻过程由专有软件包控制,该软件包可针对不同的蚀刻需求进行调整。该机器还具有先进的自我清洁功能，确保可重复和一致的结果能够得到保证。最后，该机具有独特的，原位温度测量，以精确控制蚀刻深度，同时还提供在蚀刻和灰化过程中监控的能力。简而言之，LAM RESEARCH 4520i是复杂晶片结构蚀刻和灰化的理想解决方桉，精度和可重复性都很高，一定能提供高保真度的结果。