二手 LAM RESEARCH 4520i #9226619 待售

LAM RESEARCH 4520i是一款最先进、超精确的等离子体蚀刻器/asher，旨在处理最苛刻和精确的蚀刻要求。这种革命性的工具提供晶圆级精密蚀刻,可选择3或4面蚀刻和可选的多轴蚀刻。4520i采用实时闭环蚀刻引擎,可实现过程中控制和过程稳定性。这就导致了高质量的蚀刻，几乎没有工艺缺陷。LAM RESEARCH 4520i具有广泛的特点，设计用于晶圆和基板的精密蚀刻和灰化，包括多模式工艺室，允许增强工艺控制和提高工艺稳定性。腔室设计提供出色的均匀性和可重复性，对多种基材高度灵活，真空性能突出，颗粒水平低。蚀刻器可以实现高精度，具有广泛的分辨率选项，达到± 0.5微米的精度。先进的4520i系统体系结构允许操作人员灵活的过程控制和数据采集方便地使用。直观的图形用户界面有助于流程参数的设置和操作,以及流程运行的数据日志记录。该单元还配备了基于配方的编程功能，允许未来开发特定流程独有的定制配方。LAM RESEARCH 4520i是一个可靠高效的等离子体蚀刻器/灰烬系统，提供一致、高质量的蚀刻工艺，以获得最佳的器件产量。该系统具有先进的功能、多功能性和广泛的工艺选项,是研发和小批量生产应用的理想选择。集成的硬件和软件提供了全面的过程控制,并确保了高收益率,使4520i成为需要经济高效、高精度蚀刻器/asher的用户的理想选择。