二手 LAM RESEARCH 4520i #9233410 待售

LAM RESEARCH 4520i是一款用于半导体应用的先进蚀刻/asher设备。它旨在提供高均匀性、精密蚀刻和灰化工艺。该系统具有高真空、Peltier冷却、射频驱动的等离子体生成模块，非常适合需要紧密浓度等离子体特性的关键过程。这一特点使得它适合于使用过程，如对薄膜和基板进行蚀刻。4520i有一个车载控制器，为用户提供一个自定义和调整设备设置的界面。它还具有较大的腔室尺寸和自动基板和掩模载荷，便于提高吞吐量，这一特性在半导体生产中特别有用。它的电极被设计成提供一个强大的等离子体，使精确和快速蚀刻速率与低能耗。此外，它还具有低温操作功能，可提高蚀刻安全性。该装置还提供各种标准的蚀刻后操作和真空过程，包括冷却和彻底去除。这样可以提高蚀刻过程的灵活性,并减少雇用额外技术人员的需要。此外，蚀刻和灰化机带有先进的硬件和软件，使整个过程更易于控制和管理。总之,LAM RESEARCH 4520i是一种非常先进的蚀刻/灰化工具,为用户提供高精度和均匀性,以及一系列标准的蚀刻后工艺和真空工艺。它非常适合于关键过程,例如对薄膜和基板进行蚀刻,其板载控制器为用户提供了对该过程的更多控制。它还提供了一个大腔室大小和自动基板和面罩加载。所有这些特性使得4520i成为大批量生产和精密蚀刻工艺的绝佳资产。