二手 LAM RESEARCH 4520i #9292701 待售

LAM RESEARCH 4520i是一种先进的半导体器件制造蚀刻器/灰化器。该设备采用等离子体辅助各向同性蚀刻工艺。适合于特征尺寸减小、平面度增强、B环去除、气体隔离层形成、重分布层图样、线缘成形、钝化层图样等蚀刻应用。4520i具有低压电容耦合等离子体源,提供卓越的不均匀控制、均匀性和过程重复性。它配备了允许直流运行的高密度射频发电机以及用于版本偏置控制的低频辅助电源。先进的工艺控制设备优化晶圆吞吐量和工艺参数。蚀刻系统能够在分钟内以高达1.2微米的速率进行蚀刻，并且能够支持高达100 nm的沟槽蚀刻应用。LAM RESEARCH 4520i具有气体诊断和高级联锁等多项安全功能,确保设备全天候安全运行。先进的边缘保护机降低了晶圆断裂的风险。该工具的设计具有灵活性和可扩展性,可以进行修改以适应新的和高级的流程。该资产与Ar/NF3/C4F8、CHF3/CF4、NF3/O2和O2/CHF3/CF4等物质来源兼容。4520i包含一个工具自动化软件,该软件可同时进行多工具控制以及过程参数/配方编辑。该模型致力于帮助用户以最小的缺陷和优异的流程可重复性实现最高的吞吐量。先进的运行结束检测允许及时收集SPC数据以获得最佳晶圆结果。LAM RESEARCH 4520i是一款可靠可靠的机器，为用户提供了蚀刻和灰烬工艺的最高精度和精确度。蚀刻器/asher易于安装和维护,为用户提供了一个高度自动化的过程,并具有可靠、可重复的结果。