二手 LAM RESEARCH 4520i #9399005 待售

LAM RESEARCH 4520i是为生产电子和光电元件而设计的先进Etcher/Asher设备。该系统是一种复杂、灵活、高通量的工具,可提供卓越的蚀刻/灰化功能和优异的效果。利用更精确的目标离子传递精确的蚀刻图样，同时减少蚀刻时间和灰度时间，从而取得优异的效果。4520i配备了单一的高电流双离子枪设计,在存在广泛的材料和蚀刻化学物质的情况下,可提供更好的10,000A/cm2蚀刻速率。它的设计简化了对齐，这是产生高质量蚀刻特征的关键，使设备能够加工要求苛刻的基板，而不会将碎屑和微粒引入加工室。该机还具有长距离、高弹性的等离子体注入模块,允许在低工艺压力下运行,以最大程度地减少蚀刻和灰化引起的表面损坏。LAM RESEARCH 4520i是一个模块化工具,允许根据需要对单个组件进行更改或升级,以保持最佳生产和适应新流程。该资产提供标准和定制基板处理,允许自动遍历。这对于需要精确对准的非平面曲面和元件的沉积和蚀刻非常理想。其温度控制模型能够在蚀刻/灰分过程中对基板的不同点进行温度调制。它还配备了最先进的压力监视器,密切关注蚀刻和灰化压力,以确保过程平稳、一致。4520i适用于电子行业细公差元件生产中广泛的蚀刻和灰化应用。它是MEMS/NEMS、RF元件和光学元件的理想设备,需要精确蚀刻和灰化,并提供高度可靠和可重复的结果。对于要求高蚀刻/灰分速率、均匀性和准确性的苛刻生产应用来说,这是一个极好的选择。